项目名称：集成化高性能微纳机电射频谐振器件

适用范围：高端装备制造

完成单位：中国科学院半导体研究所

合作形式：合作研发；技术转让；技术许可

项目简介：

在过去60年中，石英晶振是时钟市场的主流技术，但其受到石英材料和传统制造工艺的限制，越来越难以满足目前微型化电子系统的需求。微纳技术制备的硅基的MEMS谐振器具有易于系统集成、高性能、成本低等优势，在生产工艺和组件结构上，更符合现代电子产品的标准，是对石英产品的升级换代，将带来巨大的市场变革。基于MEMS谐振器可以开发出各种射频器件，如高性能振荡器、窄带滤波器、混频器等，其具有优秀的器件特性和集成化、低成本的优势，满足新型射频系统的需求。MEMS振荡器正以120%的年增长率，逐渐取代石英晶体振荡器。与石英晶体相比，MEMS振荡器的封装很小，而且价格相对更实惠，特别适合消费电子产品和汽车电子领域。开始占据石英晶振中端产品的市场，正在逐渐向高端和低端产品市场扩展。目前全球时脉市场规模达50亿美元，MEMS振荡器正处于起步阶段，市场占有率在4%左右，但年复合成长率高，具有巨大的发展潜力。

目前中国科学院半导体研究所掌握了高性能MEMS振荡器从器件设计、加工，到后端封装测试及外围驱动电路的整套成熟技术。采用微纳加工技术大规模制作了射频MEMS谐振器，具有基频覆盖MHz到GHz，Q值大于8000等性能优势，真空键合封装后器件Q值可大于10000。还利用MEMS谐振器构建高Q值点阻滤波器，耦合超窄带滤波器等器件，百分比带宽小于1%。与振荡电路电路集成构成高性能MEMS振荡器，具有低相位噪声，高线性频率温度特性，优秀的稳定度，短期稳定性达到±0.5 ppm。这些性能达到国际先进水平。