热阴极超高真空计
日期:2021-05-14

项目名称:热阴极超高真空计

适用范围:精密测量仪器

完成单位:兰州空间技术物理研究所

合作形式:技术许可

项目简介:

超高真空计是指能够准确测量10-7Pa以下真空度的精密测量仪器,在高能物理、核聚变、材料、光学、量子物理等高新技术领域应用广泛。长期以来,超高真空计的高端市场被欧洲、日本和美国等发达国家所垄断,致使目前国内此类型的真空计完全依赖进口。近年来51O所投入大量人力物力,攻克了真空测量过程中微弱信号检测、ESD效应限制、材料热出气等关键技术,成功开发了具有自主知识产权的LIP-UHVG1029型宽量程高精度热阴极超高真空计产品。

    本产品硬件部分采用独特的工艺与制造技术,消除了电离规在长期运行状态下的应力变化,减小了测量误差;在电控部分采用最新的真空电离技术使真空测量下限达到了2×10-9Pa,对氮气灵敏度达到了0.18Pa-1,最终实现了低真空、高真空、超高真空范围的真空度精确测量,其主要性能指标达到甚至超过了国际先进水平,填补了国内外同类产品的市场空白。

    热阴极真空计是超高真空甚至极高真空唯一实际可行的真空科学仪器。目前国内超高真空计最高水平的测量范围为: 10-2Pa-10-7Pa(成都正华ZJ-12 B-A);国外超高真空计测量范围最高水平为: 10-2Pa-10-10Pa( 德国leybold IE514)。本产品研制的线性测量范围达到2×10-2Pa-2×10-9Pa,可填补国内市场的在10-7Pa-10-9Pa量级上的市场空白。此外,随着我国高端真空装备领域的快速崛起,本产品可进一步的替代高端装备领域中真空测量部分的国外真空计,进一步提高市场知名度和影响力。

    超高真空计主要应用于纳米材料、量子、光学、生物分析等基础科学研究以及加速器、核聚变、高能物理、表面技术等领域的真空测量。据统计,国内需求量达到300-500台套/年,每年产品销售额达3000万左右,超高真空计样机实测范围:3×10-2-1×10-9Pa,灵敏度0.18 Pa-1,相比国内超高真空计产品实测10-7Pa量级的测量下限,优于其2个数量级。本产品形成产业化后,其生产成本远远低于国外同类型产品,具有较高的性价比和较强的市场竞争力。